Mikrodalga yakma işlemi ICP-OES ve ICP-MS ölçümleri ile analizden önce organik moleküllede metallerin çözelti fazına alınması için kullanılan yaygın bir tekniktir.
Bu işlem basınca ve ısıya dayanıklı kapalı bir kap içinde, numunenin kuvvetli asit ve/veya asit karişımına maruz bırakılarak mikrodalga ışıması üzerinden basınç ve sıcaklığın artırılmasıyla sağlanır. Metal içerik bu işlemden sonra ICP-OES ve/veya ICP-MS’te analiz edilebilir.